Ю.А. Родионов. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.

Издательство: Инфра-Инженерия
Год: 2019
Cтраниц: 353
Формат: pdf
Язык: русский

 

Скачать книгу (74,2 МБ):